低価格 UVナノインプリント装置

ImpFlex Essential

従来のフォトリソグラフィーに比べ、高微細化、低コスト、高スループットで
次世代の微細加工技術として注目を集めるナノインプリントリソグラフィー。
本装置は上位機種であるImpFlexをベースに徹底的なコストダウンを行った低価格モデルです。
低価格でありながら低残膜と膜厚均一化を実現するインプリントエンジンは上位継承しています。

1.　低残膜、膜厚均一性の高いImpFlexと共通のインプリントエンジン搭載！
2. 徹底的なコストダウンにより低価格を実現！
3. バブル消去ガスプロセス対応！
4. 多種モールドに対応可能！
5. 豊富なオプションによりアップグレードが可能！