DC111 Spray Coater
本装置はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。1.MEMSデバイスに対応
2.凸凹面への膜厚均一塗布
3.ビア、トレンチ埋め込み塗布
4.ヒータ内蔵試料台を装備。最大100℃までの試料温度制御が可能です。
5.サーボモータは、低振動、低発熱、高精度の弊社「Si-servo」を使用しています。
6.特殊仕様も承ります。
DC111 Spray Coater
本装置はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。項目 | 仕様 |
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装置正式名称 | DC111 |
呼称 | スプレーコーター |
形式 | ノズル移動・試料固定型スプレー方式 |
試料台サイズ | DC111:220×220mm □ |
ノズル移動範囲 | DC111:縦横300mm |
ノズル移動速度 | 10~300mm/秒 |
薬液量制御方式 | 薬液エア圧送およびマイクロニードルによる |
粒子径 | 約5~15μm(使用流体によります) |
項目 | 仕様 |
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クリーンドライエア | 5Kg/cm2(≒0.5Mpa) 15リットル/min以上 (空圧チューブ接続口 Φ6mmワンタッチ継手) |
電源 | DC111:1ΦAC100V 1800W |
排気 | 外部より排気 2300リットル/分 (接続ダクト径 Φ100mm) |
項目 | 内容 |
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本体サイズ | DC111:1000×650×680mm(H×W×D) (突起部を含まず) |
重量 | DC111:100Kg |
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