新開発のアクチュエータ
新感覚の ステッピングモータ
ステッピングモータをサーボ制御&位置決めコントローラ内蔵
位置決めコントローラ内蔵ACサーボドライバ・モータ
アライメント用UVW軸ステージコントローラ
直交ロボット専用 コントローラ
パネル一体型コントローラ
ACサーボモータ搭載、シャープなシャクリが自慢
ナノインプリント リソグラフィー
MEMSデバイス、及び各種半導体研究用スプレーコーター
サイズ自由、追加工・塗装色も指定可能の板金キャビネット
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